自動勻膠顯影機(jī)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、物理學(xué)、工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，接下來就給大家介紹一下它的工作原理及其特點(diǎn)，希望能夠幫助到您！
 

　　自動勻膠顯影機(jī)的工作原理：
 

　　顯影系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗(通常是去離子水或溶劑)，然后干燥(通常是氮?dú)?等最后的處理步驟。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。勻膠顯影機(jī)還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。
 

　　自動勻膠顯影機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　1、該設(shè)備采用先進(jìn)的單片微型機(jī)程序自動控制，顯影質(zhì)量好工藝條件穩(wěn)定可靠適應(yīng)宜科研和生產(chǎn)單位大規(guī)模集成電路和其它半導(dǎo)體器件的光刻工藝中作顯影之用(如：硅片勻膠后的顯影)。
 

　　2、該設(shè)備顯影工藝采用了先進(jìn)的噴霧方式，可根據(jù)工藝要求噴霧狀態(tài)電機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù)，程序時(shí)間的工藝參數(shù)都可在很寬的數(shù)值范圍內(nèi)調(diào)整，其程序?yàn)檠訒r(shí)吸片、顯影、漂洗、干燥、延時(shí)復(fù)位。
 

　　3、該設(shè)備采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整，特別是對較細(xì)線條電路采用此工藝可得到很高的效果。
 

　　4、本設(shè)備除能實(shí)現(xiàn)顯影工藝外亦可進(jìn)行人工涂膠，工藝指標(biāo)與專用涂膠效果基本相同。
 

　　5、該顯影機(jī)為獨(dú)立臺式機(jī)，操作方便。